CS-GZP-100实验高真空机组

使用说明书

CS-GZP-100 实验高真空机组

1.       概况：

CS-GZP-100 实验高真空机组由2X-4旋片式真空泵、K100扩散泵及手动高真空蝶阀组成，它的工作真空度极限达到3.0 ×10^-3Pa，是理想的真空抽气系统。

2.        技术条件：

2.1  2X-4旋片式真空泵为前级、配DDCJQ-25电磁阀壹只，防止返油。

2.2  手动阀门GI100壹只、GI32贰只

2.3  水冷却K100扩散泵，扩散泵加热预热时间为1小时。

2.4  15分钟内恢复真空度达到5.0*10^-3Pa（空载）

2.5  机组的极限真空度达到3.0*10^-3Pa（空载）

3.       前面板操作键

3.1  合上电源前,先安全检查总电源AC380V应可靠的接入机组,通上冷却水总电源红灯亮

3.2  按总电源开录灯亮

4.       使用方法：

4.1  开机前准备工作：开水， 开总电源。

4.2   掌握会用ZDF-12C微机复合真空计：ZJ-52电阻规管插在电缆线大白瓷的一端后严密插在真空系统里, 另一端与仪器7芯插连接,同样ZJ-27电离规管插在电缆线大白瓷的一端后严密插在真空系统里, 另一端与仪器5芯插连接,信号线一端是锷鱼夹,夹在ZJ-27的玻璃规管的金属帽子上,另一端插在仪器的信号座上。要熟读ZDF-12C微机复合真空计的使用说明书. 开启ZDF-12C微机复合真空计在系统没排气的状态下，应ZJ-52电阻规管左边显示1.0×10⁵Pa, 而ZJ-27电离规管没工作，右面显示“9.9--”.说明ZDF-12C微机真空计是正常好用。

4.3   按机械泵开按钮，机械泵指示灯亮，开下阀关上阀，对扩散泵内开始排气3分钟后，关下阀,开上阀，对真空系统开始排气，开ZDF-12C复合真空计电源：观察ZDF-12C微机复合真空计低真空显示5.0×10¹Pa 后,关上阀开下阀；开扩散泵电源；扩散泵指示灯亮加热，扩散泵电流表有指示,加热45分钟后，说明扩散泵已进入高真空了；

4.4   观看ZDF-12C微机复合真空计低真空显示5.0×10⁰Pa 后,检查真空系统应开下阀关上阀时可开主阀，观察ZDF-12C微机复合真空计低真空显示高于1.0×10⁰Pa后,仪器自动点亮高真空电离规管ZJ-27,如ZJ-27高真空规管显示8.0×10^-3Pa,即说明是系统的真空度了.

4.5  系统已是高真空了, 即可对被加工件加工，加工完毕后,关主阀、关上阀、开下阀,延迟3分钟后开放气阀, 将自然空气充入系统内，即可取出工件。

4.6   周而复始4.3-4.5项对工件的进行工艺加工。

4.7    加工件完毕后，关主阀、关扩散泵电源、关上阀,只有下阀开，冷却扩散泵1小时，  用   

手摸扩散泵底部不烫了。

4.8   关下阀、关机械泵、关水、关总电源。

5. 设备成套性

5.1  CS-GZJ-100实验高真空机组         1套

5.2  ZDF-12C微机复合真空计            1台

5.3  使用说明书                        1份

5.4  产品合格证                        1份

6. 用户至上

6.1 用户因使用不当而引起损坏，不属于保修范围，故此而引起的更换材料由用户自理。人工费要酌情收取。外购件的保修由制造厂负责.

6.2 欢迎用户在使用中的意见及时转告我所

    我所的通讯地址：

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