名称 | 粗真空 | 低真空 | 高真空 | 超高真空 |
压强范围 | 105-1300 | 1300-10-3 | 10-1-10-6 | 10-6-10-10 |
型号 | 极限真空(Pa) | 抽速(L/S) | 加热功率(W) | 油量(L) | 配用机械泵型号 |
三级泵 | 1.3~10-3.5 | 60 | 400 | 0.12 | 2X-4 |
四级泵 | 13~10-4.5 | 130 | 800 | 0.13 | 2X-4 |
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